新闻搜索
关 键 字: 搜索范围:  
您现在的位置:网站首页应用支持技术创新 > 国内半导体“卡脖子”材料——抛光垫 及电气特气 抛光液

国内半导体“卡脖子”材料——抛光垫 及电气特气 抛光液

浏览次数: 日期:2014年8月1日 11:31
由于国家集成电路大基金二期的成立,国内半导体材料企业近期站上风口。半导体材料细分领域关键的除了大硅片、光刻胶之外,还有电子特种气体及抛光材料。今天我们来看一下这两方面的国产替代机会。
我们先普及下概念,电子气体是指用于半导体及其它电子产品生产的气体。与传统的工业气体相比,电子气体特殊在气体的纯净度要求极高,所以也称为电子特种气体。电子特气应用于集成电路制造的多个环节,主要包括氮气、氢气等大宗气体及沉积、掺杂、刻蚀等工艺气体。
国内半导体“卡脖子”材料——抛光垫 及电气特气 抛光液
国内半导体“卡脖子”材料——抛光垫 及电气特气 抛光液
电子特气2018年全球半导体原材料细分领域产值为42.7亿,规模在细分领域中排第二位。
国内半导体“卡脖子”材料——抛光垫 及电气特气 抛光液
国内半导体“卡脖子”材料——抛光垫 及电气特气 抛光液
▲电子特气在集成电路制造多个环节具有重要作用
电子特种气体由于其品种繁多,在半导体制程工艺中覆盖广泛,因此成为衡量半导体技术的核心产品。按照在集成电路中的作用可分为掺杂气体、外延气体、离子注入气体、发光二极管用气体、刻蚀气体、化学气相沉积(CVD)用气体、载运稀释气体七类。目前,2017年全球特种气体市场国外占比88%,国内气体公司仅占12%。
国内半导体“卡脖子”材料——抛光垫 及电气特气 抛光液
国内半导体“卡脖子”材料——抛光垫 及电气特气 抛光液
▲电子特气市场格局
与国外气体公司相比,大部分国内气体公司的供应产品仍较为单一,用气级别不高,尤其在集成电路、显示面板、光伏能源、光纤光缆等高端领域。
化学机械抛光技术(CMP) 是集成电路制造中获得全局平坦化的一种手段。抛光工艺当中最主要的两个关键辅料是抛光垫和抛光液。抛光垫是抛光技术工艺的核心,也是晶圆芯片制程中“卡脖子”的关键材料。
国内半导体“卡脖子”材料——抛光垫 及电气特气 抛光液
国内半导体“卡脖子”材料——抛光垫 及电气特气 抛光液
▲CMP工艺原理图
全球市场上,CMP抛光垫市场主要供应商为美国陶氏化学DOW,市场份额高达80%,基本形成垄断,排名第二的是美国Cabot公司,国内企业在该领域没有话语权。抛光液方面,长期以来, 全球化学机械抛光液市场主要被美国和日本企业所垄断。国内方面,安集电子实现突破,与国外巨头相比, 我国抛光液市场国产化程度较低且产品主要用于中低端领域。

所属类别: 技术创新

该资讯的关键词为: